Устройство за криогенно отделяне на въздух с висока чистота за електроника

Устройство за криогенно отделяне на въздух с висока чистота за електроника доставя непрекъснато 99,999%+ азот, кислород или аргон към полупроводникови фабрики, LED епитаксия и фотоволтаични клетъчни линии. Устройството работи 24/7 без цикличност. Примесите на изхода обикновено са под 1 ppm общо въглеводороди и 0,5 ppm CO₂.

Описание на процеса

Околният въздух се компресира, предварително -охлажда и преминава през пречиствателна тръба, която премахва вода, CO₂ и въглеводороди. След това чистият въздух влиза в хладилна кутия, съдържаща две дестилационни колони. Работната температура на колоната е между -185 градуса и -196 градуса. Разделянето става чрез многократно изпаряване и кондензация въз основа на точките на кипене (N₂: -196 градуса, O₂: -183 градуса). Продуктовият газ се изтегля от горната част на колоната с високо налягане за азот или от колоната с ниско налягане за кислород и аргон.

Типични данни за ефективността

Стойностите зависят от температурата на околната среда на обекта, условията на охлаждащата вода и крайните изисквания за чистота. Потвърдете със симулация на процес.

Консумация на енергия и надеждност-компромис

За всяко устройство за криогенно отделяне на въздух с висока чистота за електроника специфичната консумация на енергия е най-големият експлоатационен разход. Дизайнът използва високо-ефективен турборазширител и стъпаловидни дестилационни колони, за да поддържа мощността в диапазона, показан по-горе.

Фабриките за електроника обаче също са изправени пред висок риск от прекъсване. Повреда в подаването на газ може да бракува цяла партида вафли. Поради това обикновено препоръчваме да добавите резервоар за съхранение на течност с изпарител или резервна колона. Това увеличава капиталовите разходи, но намалява риска от производствени загуби. Много клиенти приемат по-високите първи разходи, след като изчислят собствените си разходи за престой.

Технически спецификации

• Метод на разделяне: Криогенна ректификация
• Материал на колоната: Алуминиева сплав 5083 или 304/316L неръждаема стомана
• Система за управление: PLC (Siemens или Rockwell) или DCS с Modbus TCP/IP отдалечен достъп
• Остатъчен въглеводород в продукта: < 1 ppm
• CO₂ след пречистване: < 0,5 ppm
• Точка на оросяване на продукта: < -70 градуса

Опции за персонализиране

Всеки сайт има различни условия. Ние коригираме:

• Дизайн за висока околна температура, влажност или надморска височина
• Степен на чистота (напр. само 99,9995% N₂ - по-малко степени на колона, по-ниска мощност)
• Конфигурация за пълно извличане (N₂ + O₂ + Ar едновременно)
• Интегриране на течна резервна система (резервоар + изпарител + автоматична смяна)
• Контейнерно или{0}}монтирано оформление за-ограничени места

Изискваме данни за обекта (условия на околната среда, изискван поток, чистота, налягане), преди да предложим окончателен проект.

Услуги и Сертификати

• Обхват: Проектиране на процес, производство, инсталиране на място, пускане в експлоатация, обучение на оператори, поддръжка за текуща поддръжка
• Сертификати: ISO 9001, ISO 14001, ASME или PED (ако е необходимо), Китайски лиценз за съдове под налягане
• Референции: Налични съгласно NDA. Никакви имена на клиенти не се споделят без разрешение.

Относно Shenger Gas

Shenger Gas проектира и изгражда модул за криогенно отделяне на въздух с висока чистота за електроника въз основа на реални условия на място, а не на предварително зададени брошури. Ние провеждаме пълна симулация на процес за всеки проект. Проверката на магазина включва тест за изтичане на хелий и проверка на работата на студено. На място ние пускаме в експлоатация, докато продуктът газ отговаря на спецификациите за 72 последователни часа. Това е нашият стандарт за предаване. Няма претенции без данни.

Популярни тагове: криогенен въздушен разделител с висока чистота за електроника, Китай криогенен въздушен разделител с висока чистота за електроника производители, доставчици, фабрика